半导体制氮系统的“核心引擎”

从环境空气到超纯氮气,PSA制氮机决定芯片生产的纯度与成本

01

空气净化预处理

  • 三级精密过滤去除粉尘
  • 冷冻干燥机除水至露点-40℃
  • 活性炭塔吸附油雾
  • ➜ 保护碳分子筛

02

PSA变压吸附制氮

  • ⚡ 核心工段
  • 碳分子筛选择性吸附氧气
  • 氮气穿透产出纯度≥99.9995%
  • 双塔交替工作连续供气

03

氮气纯化精处理

  • 加氢催化脱氧至≤0.5ppm
  • 吸附干燥去除微量水
  • 末端0.003μm超级过滤
  • ➜ 产出半导体级氮气

04

稳压输送至产线

  • 缓冲罐稳压±0.05MPa
  • 管道式在线纯度监测
  • 输送至回流焊/晶圆炉
  • ✓ 芯片生产就绪

合适的半导体制氮机,年省电费超30万元

不同纯度等级 × 不同产气量,精准匹配您的半导体制氮需求,避免纯度过剩或不足

标准型

适合1-10Nm³/h小流量制氮,纯度≥99.99%,性价比最优。SMT回流焊首选

  • 产氮量:1~10Nm³/h
  • 纯度:99.99%
  • 露点:-40℃
  • 耗电量:0.35kW·h/Nm³
  • 控制方式:PLC自动
SMT回流焊、波峰焊、测试包装

高纯型

适合10-50Nm³/h中流量制氮,纯度≥99.999%,年省电费超30万元,18个月回本

  • 产氮量:10~50Nm³/h
  • 纯度:≥99.999%
  • 露点:-60℃
  • 耗电量:0.28kW·h/Nm³
  • 控制方式:变频+远程
芯片封装、晶圆测试、光刻

超纯型

适合50-200Nm³/h大型制氮系统,纯度≥99.9995%,满足8英寸/12英寸晶圆厂需求

  • 产氮量:50~200Nm³/h
  • 纯度:≥99.9995%
  • 露点:-70℃
  • 耗电量:0.22kW·h/Nm³
  • 控制方式:全自动+数据追溯
晶圆制造、氧化扩散、CVD

现场制氮系统

一体化撬装设计,占地小、交付快。替代液氮储罐,3年节约超200万元

  • 产氮量:20~500Nm³/h
  • 纯度:99.99%~99.9995%
  • 氮气成本:<0.8元/Nm³
  • 启动时间:<30分钟达标
  • 占地面积:<10m²
大型晶圆厂、化合物半导体、封装测试

半导体制氮机 · 型号选型指南

不同纯度 × 不同产气量,精准匹配您的半导体制氮需求

制氮机类型 商品型号 适用场景 产氮量/纯度 商品价格
标准PSA制氮机 JY-PSA-10A SMT回流焊、波峰焊 5-10Nm³/h · 99.99%
高纯PSA制氮机 JY-HP-30A 芯片封装、测试 20-50Nm³/h · 99.999%
超纯PSA制氮机 JY-UP-80A 晶圆制造、光刻 50-100Nm³/h · 99.9995%
加氢纯化制氮机 JY-PUR-60A 氧化扩散、CVD 30-80Nm³/h · 99.9999%
撬装一体式制氮机 JY-SK-150A 8英寸/12英寸晶圆厂 100-200Nm³/h · 99.9995%
定制方案 JY-Custom定制 特殊纯度/特殊流量 按需定制

应用案例

16年经验沉淀 · 20+行业覆盖渗透 · 0到1的每一步陪伴

新能源 · 锂电池

新能源行业-锂电池项目改造

西安双成新能源集团控股公司

氮气中氧或水分超标→电解液氧化→电芯胀气、自放电加快→批量产品报废

99.999% 纯度
气量 70Nm³
查看详情
医药 · 充氮保护

某医药公司-微生物或油污超标

江苏双成制药发展有限公司

分子筛老化或“中毒”(被油、水污染);前端压缩空气含油量/含水量超标

99.99% 纯度
气量 28Nm³
查看详情
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江苏双成石油开采有限公司

纯度不够(要求99.9%实测只有98%),导致置换不彻底,存在安全隐患。

99.9% 纯度
气量 46Nm³
查看详情
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天津双成自动化设备有限公司

纯度不稳定(要求99.9%实测只有95%)导致焊缝发黑,良率从88%提升至98.5%,年节省42万元

99.99% 纯度
气量 1.5Nm³
查看详情

免费半导体级氮气系统诊断

纯度测试 · 泄漏检测 · 并机扩容调试

致电我们,获取适合您半导体产线的制氮机配置方案

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